陕西博纳自动化工程有限公司

产品介绍

行业背景：
Spin Rinse Dryer（SRD，半导体甩洗干燥机）是半导体制造过程中的重要设备，用于去除制程中的化学溶液和水分，确保半导体器件的质量和性能。
· 半导体工艺的高洁净度要求：半导体器件的制造过程要求极高的洁净度，SRD确保在各个工艺步骤之间将半导体晶圆保持洁净和干燥。
· 湿法制程中的必要设备：在芯片制造的湿法制程中，包括清洗、腐蚀和沉积等步骤，需要使用各种化学溶液。 SRD用于去除这些溶液，并通过旋转和喷射的方式将晶圆表面的液体去除，然后通过高速旋转使其快速干燥。

产品特点：
· 高速旋转和精确的控制系统，确保快速且均匀的甩干效果。
· 先进的液体管理系统，可根据需要进行精确的冲洗和干燥。
· 完善的故障记录系统，保证产品故障定位以及后续问题的快速排查。
· 用户友好的界面和自动化功能，简化操作和维护过程。
· 高度可定制化，以适应不同应用和规模的需求。

简介下载

喷淋冲洗

水阻检测

高速旋转

热氮烘干

静电消除

参数介绍

BNLS300-V 型SRD甩干机是一款专为车硅级芯片生产工艺而设计的设备。其卓越性能不仅能够满足严苛的生产需求，而且具备完全替代进口同类设备的能力。
通过高效的技术参数，这款甩干机将为您的制程提供可靠、先进的替代方案。我们提供设备参数如下：

>0.2um的颗粒<30颗

<100um

spv<200

<10ppm

案例展示

我们的甩干机以其灵活性脱颖而出，可广泛适用于1至12吋的多种材质晶圆片，其中包括：硅片、碳化硅片、氮化钾、砷化钾、磷化铟、钽酸锂、铌酸锂、氧化铝等。无论您的制程规模如何，我们的设备都能在不同尺寸的硅片上展现同样卓越的性能，确保生产过程的高效稳定。

我们的甩干机注重个性化，具备特殊的工艺设计，能够根据芯片的不同材质和厚度进行精准调整。这种灵活性确保我们的设备在面对多样化的半导体材料和厚度时表现出色，为客户提供量身定制的解决方案。因此，不论芯片的特性如何变化，我们的甩干机都能够精确应对，为生产流程提供最佳支持。

4吋

4吋薄片验证视频

4吋

6吋

6吋3000转验证

6吋

5吋

5吋薄片验证视频

5吋

售后服务

· 紧急维修服务：提供紧急维修服务，以应对设备突发故障或停机的情况。这包括快速响应您的呼叫，派遣技术人员进行修理。
· 备件供应：提供原厂备件的供应，以确保在需要更换零部件时能够及时获得适用的零部件。
· 远程技术支持：通过远程技术支持，技术专家可以远程监测和诊断SRD设备的性能，以快速解决问题。
· 培训和知识转移：提供设备操作和维护的培训，以确保您的操作人员了解如何正确操作和保养设备。
· 定制化解决方案：根据您的需求和设备配置，提供定制化的售后服务解决方案，以满足不同客户的要求。
· 性能改进和升级：帮助您升级或改进其现有设备，以适应新的工艺要求或提高性能。
· 客户支持热线：提供客户支持热线或在线支持渠道，以便您能够随时获取技术支持和解决问题。

紧急维修服务

无论何时何地，当您面临设备故障或紧急情况时，我们的专业维修团队将24小时迅速响应。

终身技术支持

不论您在使用我们的设备时遇到何种技术挑战，我们的专业团队将始终为您提供全面而持久的支持。

备件优惠供应

通过我们的备件优惠供应，您将享受到高质量原厂备件的独家优惠，确保您的设备始终保持最佳状态。

解决方案定制

无论您面临的是复杂的制程要求、特殊的技术难题，我们的团队将为您打造一套切实可行的解决方案。

合作伙伴

我们与全球范围内的行业领导者建立了紧密的合作伙伴关系，致力于共同推动技术创新和业务成功。这些合作伙伴不仅为我们提供了深厚的行业洞察力，还通过共享最佳实践和资源，加速了我们产品和服务的发展。

无论是在半导体制造、电子工程还是其他先进制造领域，我们的合作伙伴关系都是基于共同的价值观和对卓越的承诺构建的。通过与这些伙伴的密切合作，我们得以不断拓展创新领域，为客户提供更全面、可靠的解决方案。我们坚信，合作是实现共同目标的关键，而这些卓越的合作伙伴是我们成功的重要支持。

士兰微

比亚迪

兆驰半导体

澳洋顺昌

关于我们

· 创新卓越：我们追求不断的技术创新和卓越的工程设计，以满足客户不断变化的需求，并保持行业领先地位。
· 质量第一：我们将质量视为一切工作的核心，确保产品在性能、可靠性和安全性方面都达到最高标准。
· 客户满意：我们的目标是超越客户期望，建立长期的合作关系。我们聆听客户的需求，提供个性化的解决方案，并持续改进以满足他们的需求。
· 可持续发展：我们致力于减少环境影响，采取可持续的制造和运营实践，以确保我们的业务对社会和环境负责。
· 团队合作：我们鼓励员工之间的合作和沟通，认为团队协作是实现成功的关键，共同努力推动公司的发展。

公司介绍

陕西博纳自动化工程有限公司成立于2006年8月，地址为陕西省咸阳市秦都区宝泉路丽彩工业园3号厂房。现有职工42人(其中研究员级高工2名；高级工程师4名)。生产车间拥有车铣磨等数控及普通机床20余台，精密检测设备6台，专业洁净装配室1000平方米。

自主研发产品BNLS系列SRD甩干机自2012年推向市场，目前服务于国内LED、光伏及半导体行业的70余家客户；应用于1~8吋的碳化硅、氮化镓、砷化镓、磷化铟、碳酸锂、陶瓷片等晶圆片的生产工艺中。

我们公司致力于创新和卓越，我们的SRD甩干机不仅采用最先进的技术，还经过精心设计，以满足客户对高效、可靠和精确甩干的需求。我们的团队由经验丰富的工程师和技术专家组成，他们致力于持续改进我们的产品，以确保它们符合最新的行业标准和客户的期望。

联系我们

作为半导体发展产业链条中公司的一员，我们不仅仅是设备的制造商，更是您成功路上的合作伙伴。我们深知在现代工业中，时间和质量至关重要。因此，我们旨在为您的生产流程提供无缝集成和高效的解决方案，确保您的项目按时完成，达到最高标准。我们的承诺是持续的创新和卓越，为您提供不断进化的技术，以适应不断变化的市场需求。

我们的全球客户群证明了我们的可靠性，无论您位于何处，我们都将全力支持您的项目。选择我们，您将享受到一个强大的团队、优质的产品和一流的客户服务。我们的目标是帮助您取得成功，我们期待着与您合作，共同实现更加辉煌的未来。

如果您对我们有兴趣，欢迎随时联系我们，我们随时为您提供帮助和信息。